浙江求是创芯半导体设备有限公司(简称“求是创芯”)为浙江求是半导体设备有限公司全资子公司,求是创芯成立于2021年06月10日,注册地址:浙江省杭州市临平区杭州余杭经济技术开发区顺达路500号1幢103室,注册资本41666667元人民币,统一社会信用代码:91330110MA2KH4F16J(1/1)。企业法定代表人:曹建伟,主要负责人:沈文杰,安全管理员:张文浩。经营范围包括一般项目:半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);技术进出口;货物进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。
2018年浙江求是半导体设备有限公司投资10亿元,在临平区临平街道顺达路500号建造求是园区,2021年竣工后投产使用,求是创芯于2021年12月租赁求是园区内1#、2#厂房车间部分区域,进行EPI外延、LPCVD沉积、ALD沉积等半导体设备制造和实验测试。
该公司产品未列入《危险化学品目录》(2015版)中,因此不属于危险化学品生产企业,但在生产过程中使用到的乙醇、氩气、氮气、氢、氯化氢、四氯化钛、四(二甲氨基)钛、甲硅烷、双(二乙基氨基)硅烷、氨、二氯硅烷、锗烷和氢气混合气、三甲基铝、氧气、乙硼烷和氢气混合气、磷化氢和氢气混合气、甲基硅烷和氢气混合气、硅烷和氢气混合、乙硅烷和氢气混合气、一氧化氮、三氟化氮、氢氧化钠、天然气等物料均属于危险化学品,因此,该企业为危险化学品使用企业。