浙江求是创芯半导体设备有限公司成立于2021年6月10日,注册地址为浙江省杭州市临平区余杭经济技术开发区顺达路500号1幢103室,公司法定代表人曹建伟,注册资本为3750万,现有员工90人,统一社会信用代码91330110MA2KH4F16J。经营范围包括一般项目:半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;专用设备制造。(不含许可类专业设备制造);技术进出口;货物进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。
2021年12月22日,浙江求是创芯半导体设备有限公司于临平区经济信息化和科学技术局进行备案,针对年产10台/套EPI外延、LPCVD沉积、ALD沉积半导体设备技改项目,总投资约2亿,总用地面积9亩,建设规模与建设内容(生产能力)为项目改造利用现有厂房,购置检测仪器等设备,达产后形成年产10台/套EPI外延、LPCVD沉积、ALD沉积半导体专用设备等生产能力。项目建成后,新增营业收入1.5亿元,利税总额约4000万。本项目严格按照安全生产的相关制度执行。
为配套年产10台/套EPI外延、LPCVD沉积、ALD沉积半导体设备技改项目,浙江求是创芯半导体设备有限公司拟进行新建特气房及厂务改造项目(下简称“本项目”)。项目建设内容:在求是园区东北角新建占地面积80m2的特气房,特气房包括氧化性特气间、氢气间、易燃特气间、剧毒特气间共4间,用于存放8种危险化学品有氢气、氨气、三氟化氮、二氯硅烷(DCS)、甲基硅烷、锗烷、乙硼烷、砷烷气体钢瓶。另厂务改造部分不在本次评价范围内。